Лаборатория алмазных пленок и покрытий

Донецкий Физико-Технический Институт

Отдел физики высоких давлений и перспективных технологий

В Донецком физико-техническом институте им. А.А. Галкина НАН Украины разработана эффективная технология получения алмазных пленок, пластинок и поликристаллической алмазной массы осаждением из газовой фазы. Создана опытная установка "Сириус - 04" с замкнутым циклом технологического процесса, отличающаяся от традиционных низкой себестоимостью алмаза, малым расходом плазмообразующего газа, экологической чистотой.

ВУП-5М модернизированный

Технические характеристики.

	"Сириус-04" Украина	AX 6600 США
Производительность за год, караты	55000	80000
Количество реакторов	5	1
Скорость роста алмаза, мкм/ч	10	13
Общая мощность, кВт	35	75
Себестоимость за карат, $	1,2	7,7

В лаборатории также получены покрытия из алмазоподобных CH и CN_x пленок. Метод выращивания - магнетронное распыление графита в атмосфере H_2, N₂ и смешанной H₂-N₂. Давление смеси - 25-35 mTorr. Температура подложки варьировалась от 150 до 350 ⁰С. Пленки выращивались на стекле, металле, кремнии, сапфире... Использовался вакуумный универсальный пост ВУП-5М. Пленки исследовались методами абсорбционной спектроскопии видимого и ИК-диапазона, а также измерением микротвердости. Предварительные исследования микротвердости показывают хорошие перспективы...

Также на установке ВНП-350-01 производятся покрытия металлических образцов (зубопротезная техника) нитридом титана (булат), титаном, хромом, медью, алмазоподобными покрытиями для декоративных и прикладных целей. Толщина покрытия - несколько микрон...

Адрес: Донецкий физико-технический институт, 83114, г.Донецк, ул.Р.Люксембург, 72.

Тел/факс (0622) 51-07-80

E-mail: sharos@mail.ru

& shemal@mail.ru